进入无尘车间的有哪些清洁要求?(1)清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;(2)用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂;(3)使用已获批准的洁净室去污剂;(4)每天都要检查车间和整备间的垃圾箱,并及时清走。(5)每块地板都要吸尘。每次交接班时,都应在地图上标明工作完成情况,例如在哪结束从哪开始。(6)清洁洁净室的地面应使用拖把。(7)在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的真空吸尘器。(8)所有的门都需要检查并擦干。(9)吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。(10)架空地板下也要吸尘及擦拭。(11)三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。(12)工作时一定要记住,永远是由上往下擦,从离门远的地方向门的方向擦。
净化工程概述复合式:复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净地道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上,可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净地道另有二项长处:A.弹性扩充轻易;B.维修设备时可在维修区等闲执行。(2)洁净管道(CleanTube):将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化出产线为相宜使用。药品、食物业界及半导体业界均合用。(3)并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上,认为出产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

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