宝安等离子清洗机公司 东莞市恒芯半导体设备供应

在线式等离子清洗机高自动化，减少人为因素，降低二次污染；高性价比，通过组件转换，可以兼容不同料片清洗；清洗时间短，无溅射损伤和高湿损伤；屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控；设备参数分级管理，提高操作安全性；完善的故障报警功能，提示故障项目和故障工位，宝安等离子清洗机公司，便于维修。功能说明：控制部分：工控机加板卡控制，显示器采用17寸正屏显示器、双飞燕大滚轮鼠标键盘操作方式控制，宝安等离子清洗机公司，编程简单，操作方便；操作软件是自主开发的，维护方便；操作手柄为自主开发制作的手持式手柄，宝安等离子清洗机公司，方便实用。在线式等离子清洗机具有产率高的特点。宝安等离子清洗机公司

在线式等离子清洗机集中于等离子体表面改性或等离子体表面处理应用。正是利用了等离子体的高能和不稳定性，对待处理材料的表面进行清洗、活化和开启，从而改变表面的微观结构、化学性质和能量。等离子体与物体表面的作用可分为物理作用(离子轰击)和化学作用。物理化学反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面，被真空泵吸出；化学反应机制是各种活性粒子与污染物反应产生挥发性物质，再由真空泵吸出挥发性物质。等离子体清洗以物理反应为主，其自身无化学反应，清洗表面不留氧化物，可保持被清洗物的化学纯净。宝安等离子清洗机公司在线式等离子清洗机清洗工艺具有成本低、使用方便、维护成本低、环保等优点。

等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。在等离子体中存在下列物质，处于高速运动转态的电子，处于激发转态的中性原子、分子、原子团（自由基)﹔离子化的原子、分子、分子解离反应过程中生成的紫外线，未反应的分子，原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

在线式等离子清洗机是一种自动搬运物料的设计理念，与传统的等离子清洗系统相比，减少了人工搬运节约成本，提高了设备的自动化水平。在线式真空等离子清洗属于高精度干式清洗，其原理是利用射频源产生的高压交流电场，将氧、氩、氢等工艺气体激发成高活性或高能量的离子，通过化学反应或物理作用对工件表面进行处理，达到分子水平上的污染物去除，提高表面活性。针对不同的污染物，采用不同的清洗工艺，可达到理想的清洗效果。等离子体清洗在的真空下产生等离子体与有机污染物和微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，通过工作气流和真空泵将挥发性物质去除，从而使工件达到表面清洁作用。在线式等离子清洗机在使用过程中不会给操作人员的身体带来任何的不良。

在线式等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。在线式等离子清洗机的结构主要有控制单元、真空腔体以及真空泵。南京在线等离子清洗机

在线式等离子清洗机表面改性主要是针对于对高分子材料和金属表面改性。宝安等离子清洗机公司

因为污染物体积小、成分复杂且通常表面要求不能存在有机残留，这时在线式等离子清洗机的作用就更能够体现出来。在线式等离子清洗机所产生的等离子体能够将有机污染物分子链打断，使分子结构中的元素与基体脱离，脱离后的元素与等离子体中的自由基发生化学反应，进行分子重组，形成无害气体排出，以达到表面清洁的目的。大部分物件表面都会存有我们肉眼看不到的有机物污染物，对于普通物体来说，一点点污染物不会有直接影响，但对于一些精密电子产品来说，表面有机物会直接影响产品后序使用的可靠性和安全性，这时候，必须使用在线式等离子清洗机这种精密机器对物品表面进行深度清洁，才能使其产品性能更优，且质量更稳定。宝安等离子清洗机公司

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