广西80K电源 东莞市恒芯半导体设备供应

等离子清洗机能处理多种材料，根据产品材料的材质及特性的不同，使用的等离子清洗机仓体大小的不同，储存环境的不同，其效果保持时效也就不一样，短的话可能几分钟，长的可能达到数十个小时，时效都会随着时间的推移而降低的，其实等离子清洗机的时效性产生很复杂的，主要由材料表面的动态重组引起的，受处理些气体的种类，处理的参数、处理材料的化学成分、结晶结构以及处理材料储存时间、环境等因素影响。在等离子清洗机处理后，广西80K电源，活性基团被引入材料表面，使材料表面性能提高，但这种活性基团不稳定，分子链将进行自由旋转或者自由迁移，广西80K电源，使活性基团逐渐转向临近分子或者基团，广西80K电源，甚至材料内部、使系统趋于稳定，从而致使表面活性随着时间增长而较快降低。等离子清洗机的清洗效果好，效率高，运行成本低。广西80K电源

等离子清洗机的表面处理技术能够很好的清理碳化物。由于工艺原因，半导体制造需要一些有机和无机物质参与，半导体晶片不可避免地会受到各种杂质的污染。根据污染物的来源和性质，大致可以分为这几类：颗粒、有机物、金属离子和氧化物等。在不破坏晶圆芯片及其他所用材料的表面特性、热学特性和电学特性的前提下，清洗去除晶圆芯片表面的有害沾污杂质物，对半导体器件功能性、可靠性、集成度等显得尤为重要。在密闭的真空腔体中，通过真空泵不断抽气，使得压力值逐渐变小，真空度不断提高，间距被拉大，分子间作用力越来越小，利用等离子发生器产生的高压交变电场将Ar、H2、N2、O2、CF4等工艺气体激发、震荡形成具有高反应活性或高能量的等离子体，进而与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清理出去，从而达到表面清洁、活化、刻蚀等目的。阳西氧等离子体清洗机等离子清洗机对各种板材进行钻孔污染处理效果明显。

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。等离子清洗机的控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。而控制单元又分为两个大的部分：电源部分，主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子。系统控制单元分三种，按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。真空腔体主要是分为两种材质的，不锈钢真空腔体，石英腔体。真空泵分为两种，干泵、油泵。清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率。

等离子清洗机还可以对聚四氟乙烯材料进行有效的处理，目前髙级轿车普遍使用聚四氟乙烯材料，随着汽车性能要求的不断提高，越来越多的厂家也已逐步使用该材料，其应用前景非常普遍。聚四氟乙烯材料各方面性能优异，耐高温，耐腐蚀、不粘、自润滑、优良的介电性能、很低的摩擦系数，但未经处理的PTFE材料表面活性差，其一端与金属之间的粘接非常困难，产品无法满足质量要求。为了解决这一技术上的难题，就要设法改变PTFE(聚四氟乙烯)与金属粘接的表面性能，而不能影响另一面的性能。工业中用莱钠溶液处理虽然能在一定程度上提高粘接效果，但是却改变了原有PTFE的性能。等离子清洗机优势：清洗对象经等离子清洗机之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。

根据污染物的来源和性质，大致可以分为四类：颗粒、有机物、金属离子和氧化物等。在不破坏晶圆芯片及其他所用材料的表面特性、热学特性和电学特性的前提下，等离子清洗机清洗去除晶圆芯片表面的有害沾污杂质物，对半导体器件功能性、可靠性、集成度等显得尤为重要。在密闭的真空腔体中，通过真空泵不断抽气，使得压力值逐渐变小，真空度不断提高，间距被拉大，分子间作用力越来越小，利用等离子发生器产生的高压交变电场将Ar、H2、N2、O2、CF4等工艺气体激发、震荡形成具有高反应活性或高能量的等离子体，进而与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质去除出去，从而达到表面清洁、活化、刻蚀等目的。使用等离子清洗机，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生。十堰工业全自动清洗机

作为一种全新的高科技技术，目前等离子清洗机清洗在各领域中发挥着重要的作用。广西80K电源

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