番禺常压等离子清洗机 东莞市恒芯半导体设备供应

等离子清洗机的内部预处理：由于各种印制电路板的生产需求日益增长，对相应的加工技术的要求也越来越高。对挠性印制电路板和刚挠性印制电路板进行内层前处理，可以增加表面粗糙度和活化程度，增加内层之间的结合力，对生产的良率提高也有重要意义。碳化物的除去：用等离子清洗处理方法，不只对各种板材进行钻孔污染处理效果明显，番禺常压等离子清洗机，而且对复合树脂材料和微孔进行钻孔污染处理，更显示其优越性。此外，由于互连密度较高的积层式多层印刷电路板的生产需求日益增加，番禺常压等离子清洗机，许多钻盲孔都采用了激光技术来制造，番禺常压等离子清洗机，这是激光钻盲孔应用的副产物—碳，需要在孔金属化生产过程之前将其去除。等离子清洗机的真空泵分为两种，干泵 、油泵。番禺常压等离子清洗机

等离子清洗机应用在橡塑行业：我们在工业应用中发现一些橡胶塑料件在进行表面连接的时候会出现粘接困难的问题，这是因为聚丙烯、PTFE等橡胶塑料材料是没有极性的，这些材料在未经过表面处理的状态下进行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差，甚至无法进行。有些工艺用一些化学药剂对这些橡塑表面进行处理，这样能改变材料的粘接效果，但这种方法不易掌握，化学药剂本身具有毒性，操作非常麻烦，成本也较高，而且化学药剂对橡塑材料原有的优良性能也有影响。利用等离子技术对这些材料进行表面处理，在高速高能量的等离子体的轰击下，这些材料结构表面得以较大化，同时在材料表面形成一个活性层，这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。广西超声波清洗机等离子清洗机旋转喷嘴可以使宽度超过3米的面板以高达25米/分钟的速度进行处理。

等离子清洗机的用途主要表现在这几个方面：表面清洗：材料表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在粘合、焊接前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面；适用于金属、玻璃、陶瓷等多种材料。表面活化：在惰性材料表面生成活性基团，增强表面极性，提高表面能。等离子处理与灼烧处理相比，不会损害样品，同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，盲孔和带缝隙的样品也可以处理。表面刻蚀：在等离子刻蚀过程中，通过处理些气体的作用，被刻蚀物会变成气化物。处理些气体和基体气化物质被抽气系统抽出，表面连续被新鲜的处理些气体覆盖。无需刻蚀部分应使用相应材料覆盖起来。表面接枝与聚合：在等离子体表面活化产生的基团或等离子体引发聚合层不能与材料表面牢固结合时，采用等离子体接枝的方法来改善。

根据污染物的来源和性质，大致可以分为四类：颗粒、有机物、金属离子和氧化物等。在不破坏晶圆芯片及其他所用材料的表面特性、热学特性和电学特性的前提下，等离子清洗机清洗去除晶圆芯片表面的有害沾污杂质物，对半导体器件功能性、可靠性、集成度等显得尤为重要。在密闭的真空腔体中，通过真空泵不断抽气，使得压力值逐渐变小，真空度不断提高，间距被拉大，分子间作用力越来越小，利用等离子发生器产生的高压交变电场将Ar、H2、N2、O2、CF4等工艺气体激发、震荡形成具有高反应活性或高能量的等离子体，进而与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质去除出去，从而达到表面清洁、活化、刻蚀等目的。等离子清洗机的控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

等离子清洗机清洗原理是，通过利用等离子体的“活性”组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起会产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机也叫等离子清洁机。番禺常压等离子清洗机

等离子清洗机设备应用的范围领域有：在塑料元件改性过程中，可以提高了塑料的润湿率。番禺常压等离子清洗机

等离子清洗机应用在航空航天行业的原因是因为，电连接器中的绝缘体与封线体之间的粘接效果一直影响着国产电连接器的发展，尤其在航空航天中对电连接器的要求更苛刻，未经表面处理的绝缘体与封线体之间的粘接效果非常差，即使使用专门使用配方的胶，其粘接效果也达不到要求；另外，如果绝缘体和封线体之间粘接不紧密，就可能会产生漏电，使得电连接器的耐压值提不上去。目前经过技术研究攻关，正逐步应用推广等离子清洗技术清洗连接件表面，通过等离子清洗，不只能去除表面油污，而且可增强其表面活性，这样在粘接时，在连接件上涂胶非常容易且非常的均匀，使得粘接效果明显改善。番禺常压等离子清洗机

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