鼓楼大气直喷射等离子清洗机 东莞市恒芯半导体设备供应

大气等离子清洗机体处理聚合物表面发生的交联、化学改性、刻蚀主要是因为等离子体使聚合物表层分子发生断键生成大量的自由基。实验说明，随着等离子处理时间的延长、放电功率增大,生成的自由基强度增加,达到较大点后进入一种动态平衡;放电压力在某一定值时,自由基强度出现较大值，即在特定条件下等离子体对聚合物表面反应的程度深。大气等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，等离子清洗机发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，鼓楼大气直喷射等离子清洗机，其能量足以破坏几乎所有的化学键，等离子清洗机在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，鼓楼大气直喷射等离子清洗机，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，鼓楼大气直喷射等离子清洗机，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。大气等离子清洗机中由无线电波范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。鼓楼大气直喷射等离子清洗机

使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点。大气等离子清洗机需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；等离子清洗机可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。鼓楼大气直喷射等离子清洗机大气压等离子较大可以处理2m宽的材料，可以满足现有多数工业企业的需求。

初步了解等离子清洗机有哪些种类：一般等离子清洗机分类：1、按等离子产生环境分-可分为真空等离子清洗机/常压等离子清洗机；2、按电源频率来分可分为中频等离子清洗机/射频等离子清洗机/微波等离子清洗机（细分还有很多种分发就不一一介绍），因为不同的分类设备的价格会不一样能用低价格的设备解决就不选用高级的种类型号除非战略需要。询问大气等离子清洗机生产厂家或等离子表面处理方案解决商，所要处理的产品，厂家的设备能否处理、能否去生产厂家那里测试（这个很重要好用才是硬道理），确定所需要的机型和工艺参数。

大气等离子清洗机保养事项：每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近较低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪音异常，则及时更换真空油。清洗反应腔室，首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体去除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。检查输气管道的完整性及真空密封性，定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后，以避免污染物遗漏在腔体中。定期检查反应腔体门密封条是不是松动。大气等离子清洗机活化表面作用，此外，还可以在电弧电晕中活跃它。

大气等离子清洗机的启动键能，交联作用等离子体中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的键能在 0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基中的这些键形成网状的交联结构，启动了表面活性。形成新的官能团，化学作用如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。通过其处理，能够改善材料表面的浸润能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。大气等离子清洗机需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。鼓楼大气直喷射等离子清洗机

大气等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。鼓楼大气直喷射等离子清洗机

等离子设备在使用过程中会不会产生有害物质？这个问题也是不需要去担心的，因为等离子设备在处理的时候它有全套的防范措施，会配备排风系统，少部分的臭氧会被空气电离，所以对人体是没有什么危害性的。由于等离子体清洗过程需要进行真空处理，而且一般为在线为在线或批量生产，因此在把等离子体清洗装置引进生产线时，必须考虑到被清洗工件的贮存和移送的问题，特别是当被处理工件体积较大，数量较多更应考虑到这个问题。而在实验中当我们想要对各种材料的表面做清洗活化腐蚀沉积或者聚合等操作的时候，必不可少的就是一台低温等离子处理设备，而作为实验室经常使用的高精尖设备，如果使用低温等离子设备的操作不当很有可能导致设备损坏或者运行结果受到影响。鼓楼大气直喷射等离子清洗机

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