惠来氧等离子体清洗机 东莞市恒芯半导体设备供应

通过多年的研究与实践，越来越多的用户开始寻找和转向物理清洗方法。可以说，物理清洗技术是世界清洗技术发展的方向。等离子清洗机则是物理清洗设备中的一种。它的工作原理是等离子清洗机采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，惠来氧等离子体清洗机，短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，惠来氧等离子体清洗机，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级，惠来氧等离子体清洗机。等离子清洗机被普遍应用于半导体、微电子、LED制程、线路板制造等。惠来氧等离子体清洗机

等离子清洗机有一种等离子体清洗是表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗可以互相促进，离子轰击使被清洗表面产生损伤削弱其化学键或者形成原子态，容易吸收反应剂，离子碰撞使被清洗物加热，使之更容易产生反应；其效果是既有较好的选择性、清洗率、均匀性，又有较好的方向性。典型的等离子体物理清洗工艺是氩气等离子体清洗。氩气本身是惰性气体，等离子体的氩气不和表面发生反应，而是通过离子轰击使表面清洁。典型的等离子体化学清洗工艺是氧气等离子体清洗。通过等离子体产生的氧自由基非常活泼，容易与碳氢化合物发生反应，产生二氧化碳、一氧化碳和水等易挥发物，从而去除表面的污染物。崇川小型高压水清洗机采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。

等离子清洗机不只能清洗基材表面，更可以提高表面的活化能，提高表面的润湿性能，改善附着力；等离子清洗是微观清洗，不会损坏基材；等离子清洗机还可以处理各种材质，尤其适合不耐热以及不耐溶剂的基材。近几年来国内等离子清洗机技术不断发展，也在各行各业不断深入及应用，同时等离子清洗机的国内生产制造商也不少，其外观看起来也差不多，不同品牌、不同类型的等离子清洗机价格都有差异，但是每个厂家都有自己的特点和优势，具体的话还是需要去了解客户需求，根据客户的需求来报价，因为等离子清洗机清洗的行业不同，有些客户需要定制的等离子清洗机，价格就要偏高一点，所以在咨询价格的时候，要说清楚处理产品的材质，种类，大小、用途及清洗后想达到什么效果，这样就可以简单判断产品适合哪种等离子清洗机。

等离子清洗 目的是去除表面残留的光刻胶,因为硅晶片、芯片和高性能半导体都是灵敏性极高的电子元件，对清洗要求是非常高的，具有高度的均匀性，稳定的刻蚀速率；极大地改变了硅晶片原始钝化层的形貌和润湿性，较大提高了附着力效果。精细清洗（元件清洗）低温处理过程不会损伤敏感结构，对表面进行选择性地功能化处理以便进行后续的加工，精益的工艺布局，可搭载流水线实现在线全自动生产，明显的成本节约，提高生产工艺，降低粘接工艺中的不良率。应用非常普遍，在半导体集成电路制作所用的硅晶片中，能够高容量自动化处理多个硅晶片，有效清理掉硅晶片上的氧化物或金属等污染物，在半导体集成电路制作中提高了集成电路的产量、可靠性和性能。使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施。

根据污染物的来源和性质，大致可以分为四类：颗粒、有机物、金属离子和氧化物等。在不破坏晶圆芯片及其他所用材料的表面特性、热学特性和电学特性的前提下，等离子清洗机清洗去除晶圆芯片表面的有害沾污杂质物，对半导体器件功能性、可靠性、集成度等显得尤为重要。在密闭的真空腔体中，通过真空泵不断抽气，使得压力值逐渐变小，真空度不断提高，间距被拉大，分子间作用力越来越小，利用等离子发生器产生的高压交变电场将Ar、H2、N2、O2、CF4等工艺气体激发、震荡形成具有高反应活性或高能量的等离子体，进而与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质去除出去，从而达到表面清洁、活化、刻蚀等目的。等离子清洗机整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点。崇川小型高压水清洗机

在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。惠来氧等离子体清洗机

等离子清洗机的用途主要表现四个方面：表面清洗：材料表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在粘合、焊接前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面；适用于金属、玻璃、陶瓷等多种材料。表面活化：在惰性材料表面生成活性基团，增强表面极性，提高表面能。等离子处理与灼烧处理相比，不会损害样品，同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，盲孔和带缝隙的样品也可以处理。表面刻蚀：在等离子刻蚀过程中，通过处理些气体的作用，被刻蚀物会变成气化物。处理些气体和基体气化物质被抽气系统抽出，表面连续被新鲜的处理些气体覆盖。无需刻蚀部分应使用相应材料覆盖起来。表面接枝与聚合：在等离子体表面活化产生的基团或等离子体引发聚合层不能与材料表面牢固结合时，采用等离子体接枝的方法来改善。惠来氧等离子体清洗机

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